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申请/专利权人：苏州基元科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种适用于可视化CVD的氧化铝坩埚，涉及氧化铝坩埚技术领域，包括换热机构，换热机构的外壁一侧固定安装有清洁机构，清洁机构包括有第二抽气泵。本实用新型中，通过在换热机构与清洁机构的配合下，第二抽气泵将坩埚主体内的废气抽到喷淋箱后，废气上升会带动扇片旋转，将废气搅拌，使其在喷淋箱内均匀扩散，提高清洁处理的效果，随后喷头会向下方的废气喷出处理液，将废气处理，随后被处理后废气被排放到喷淋箱外，避免废气直接排放到外界污染环境，还可以减少工厂因为易燃废气出现意外事故的概率，保护工人的安全，减少设备损失，过滤网会可以将处理液过滤，水泵会将处理液带到喷头处再次利用，可以节省更换处理液的成本。
主权项：1.一种适用于可视化CVD的氧化铝坩埚，包括换热机构1，其特征在于：所述换热机构1的外壁一侧固定安装有清洁机构2；所述清洁机构2包括有第二抽气泵201，所述第二抽气泵201的输出端固定连通有喷淋箱202，所述喷淋箱202的输出端固定连通有水泵203，且水泵203的外壁一侧与喷淋箱202的外壁一侧固定连接，且水泵203的输出端与喷淋箱202的输入端固定连通，所述喷淋箱202的内壁顶部设置有多个喷头204，所述喷淋箱202的内表壁固定安装有过滤板205，所述喷淋箱202的内表壁固定安装有支架206，所述支架206的顶部开设有孔洞207，所述孔洞207的内表壁活动插设有转轴208，所述转轴208的外表壁固定安装有一组扇片209。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州基元科技有限公司 一种适用于可视化CVD的氧化铝坩埚
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