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申请/专利权人：芯钛科半导体设备(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆搬送设备，属于晶圆搬送技术领域，包括支撑架；水平横梁，其两端均沿竖直方向与支撑架滑动连接；传动丝杆，其可转动连接在支撑架上，水平横梁的其中一端固定有与传动丝杆相适配的传动螺母，支撑架上还固定安装有与传动丝杆机械连接的传动电机；卷扬机，其固定安装在支撑架上，卷扬机的卷筒通过钢丝绳与水平横梁的另一端固定连接；水平横梁上还固定安装有沿水平方向布置的直线模组，直线模组的输出端固定安装有晶圆机械手。本实用新型不但能提高水平横梁的运动平稳性和流畅性，还能够在断电时为水平横梁提供额外的安全保护。
主权项：1.一种晶圆搬送设备，其特征在于，包括：支撑架；水平横梁，所述水平横梁的两端均沿竖直方向与所述支撑架滑动连接；传动丝杆，所述传动丝杆可转动连接在所述支撑架上，所述水平横梁的其中一端固定有与所述传动丝杆相适配的传动螺母，所述支撑架上还固定安装有与所述传动丝杆机械连接的传动电机；卷扬机，所述卷扬机固定安装在所述支撑架上，所述卷扬机的卷筒通过钢丝绳与所述水平横梁的另一端固定连接；其中，所述水平横梁上还固定安装有沿水平方向布置的直线模组，所述直线模组的输出端固定安装有晶圆机械手。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 一种晶圆搬送设备
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