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基板搬送装置 

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申请/专利权人:罗泽系统株式会社

摘要:本发明公开一种能够减少所需氮气量及设备停机时间的基板搬送装置。这种基板搬送装置具有换气部驱动室、前开式晶圆盒收容室、驱动设备室及换气管。所述换气部驱动室具有向下部吹空气的主风扇。所述前开式晶圆盒收容室配置于所述换气部驱动室到下部,收容用于储存基板的前开式晶圆盒FOUP。所述驱动设备室配置在所述前开式晶圆盒收容室的下部。所述换气管连接所述前开式晶圆盒收容室与所述换气部驱动室。

主权项:1.一种基板搬送装置,其中,包括:换气部驱动室,其设有向下部吹空气的主风扇;前开式晶圆盒收容室,其配置于所述换气部驱动室的下部,收容用于储存基板的前开式晶圆盒;驱动设备室,其配置于所述前开式晶圆盒收容室的下部;以及换气管,其连接所述前开式晶圆盒收容室与所述换气部驱动室;其中,所述前开式晶圆盒收容室包括向下部升降以开闭前开式晶圆盒收容室的一侧的开闭门,并且还包括:开闭门收容室,其配置在所述前开式晶圆盒收容室的所述一侧的下部且与所述驱动设备室相邻;以及排气室,其配置在所述前开式晶圆盒收容室的另一侧且与所述驱动设备室相邻;其中,所述基板搬送装置还包括:连接流道,其连接所述开闭门收容室及所述排气室;副阀,其设于所述连接流道开闭所述连接流道;以及主阀,其用于向外部排出所述排气室的气体。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 罗泽系统株式会社 基板搬送装置

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