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申请/专利权人：株式会社尼康
摘要：本发明的曝光系统是可对自可于芯片上涂布感光剂的涂布装置搬送的芯片进行曝光者，且具备：保持装置，其具有保持自涂布装置搬送的芯片的第1面的第1保持部；测定装置，其包括第1测定部及第2测定部，所述第1测定部至少具有第1测定区域，可于与由第1保持部保持的芯片的第1面为相反侧的第2面测定第1方向的位置，所述第2测定部具有与第1测定区域不同的至少一个第2测定区域，可于芯片的第1面或第2面测定第1方向的位置；曝光装置，其利用能量束曝光芯片；搬送装置，其于曝光装置之间自测定装置搬送芯片；及控制装置；控制装置根据第1测定部的测定结果及第2测定部的测定结果，判断是否由搬送装置向曝光装置搬送芯片。
主权项：1.一种曝光系统，其是可对自可于芯片上涂布感光剂的涂布装置搬送的所述芯片进行曝光者，且具备：保持装置，其具有保持自所述涂布装置搬送的所述芯片的第1面的第1保持部；测定装置，其包括第1测定部及第2测定部，所述第1测定部至少具有第1测定区域，可于与由所述第1保持部保持的所述芯片的所述第1面为相反侧的第2面测定第1方向的位置，所述第2测定部具有与所述第1测定区域不同的至少一个第2测定区域，可于所述芯片的所述第1面或所述第2面测定所述第1方向的位置；曝光装置，其利用能量束曝光所述芯片；搬送装置，其于所述曝光装置之间自所述测定装置搬送所述芯片；以及控制装置；所述控制装置根据所述第1测定部的测定结果及所述第2测定部的测定结果，判断是否由所述搬送装置向曝光装置搬送所述芯片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社尼康 第1保持装置、第3保持装置、第5保持装置、搬送系统、曝光系统、曝光方法、及组件制造方法
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