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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本公开涉及获得基板上的多个区域的阵列的方法、装置和存储介质。一种获得基板上的多个区域的阵列的方法，所述方法包括：通过测量分配给基板上的所述多个区域中的每个采样区域的标记来获得位置测量数据，并且通过使用用于从位置测量数据估计阵列的回归模型来估计所述多个区域中的不包括采样区域的每个非测量区域的位置，其中回归模型是非参数化回归模型。
主权项：1.一种获得基板上的多个区域的阵列的方法，包括：通过测量分配给所述基板上的所述多个区域中的每个采样区域的标记来获得位置测量数据；以及通过使用用于从所述位置测量数据估计所述阵列的回归模型来估计所述多个区域中的不包括所述采样区域的每个非测量区域的位置，其中所述回归模型是非参数化回归模型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 获得基板上的多个区域的阵列的方法、装置和存储介质
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