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申请/专利权人：苏州中砥半导体材料有限公司
摘要：本发明涉及晶体生长技术领域，尤其涉及单晶生长所用的装置相关技术领域；本发明提供了用于磷化铟晶体生长的直拉装置，包括：炉体，其内部中空；升降板，其升降设置在炉体上；定位组件，其竖直设置在升降板下端，且定位组件内部中空；夹紧组件，其转动设置在升降板上，夹紧组件设置在定位组件内部；其中，夹紧组件相对定位组件转动时，定位组件内的滚柱被带动同步转动，以减小夹紧组件的晃动；籽晶杆相对夹紧组件倾斜，夹紧组件的调节件向外翻转，以限位夹紧组件转动；通过夹紧组件和定位组件的配合，能够减小籽晶杆在转动时的晃动幅度，提高了晶体的生长质量。
主权项：1.一种用于磷化铟晶体生长的直拉装置，其特征在于，包括：炉体（1），其内部中空；升降板（2），其升降设置在炉体（1）上；定位组件（4），其竖直设置在升降板（2）下端，且定位组件（4）内部中空；夹紧组件（5），其转动设置在升降板（2）上，夹紧组件（5）设置在定位组件（4）内部；其中，夹紧组件（5）相对定位组件（4）转动时，定位组件（4）内的滚柱（43）被带动同步转动，以减小夹紧组件（5）的晃动；籽晶杆相对夹紧组件（5）倾斜，夹紧组件（5）的调节件（53）向外翻转，以限位夹紧组件（5）转动；所述定位组件（4）包括：外套筒（41），其升降设置在炉体（1）内；定位架（42），若干所述定位架（42）周向设置在外套筒（41）内，所述定位架（42）内部中空，且定位架（42）的开口朝向外套筒（41）轴心；所述夹紧组件（5）包括：定位套（51），其内部中空，定位套（51）转动设置在所述外套筒（41）内，且定位套（51）外壁与滚柱（43）抵接；所述定位套（51）的上端外壁周向开设有若干定位槽（54）；所述调节件（53）包括：竖直片（531），其沿定位套（51）轴向设置，且竖直片（531）呈圆弧状；水平片（532），其固定在竖直片（531）的上端，所述水平片（532）的中部铰接在定位槽（54）内；其中，籽晶杆挤压任一竖直片（531）向定位套（51）方向移动时，竖直片（531）驱动水平片（532），使其以铰接点为轴向外凸出定位套（51）。
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权利要求：
百度查询： 苏州中砥半导体材料有限公司 用于磷化铟晶体生长的直拉装置及其工作方法
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