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申请/专利权人：芯米(厦门)半导体设备有限公司

摘要：本发明公开了一种支撑烘烤晶舟，包括侧板和晶舟主体，本发明通过设置了支撑机构于晶舟主体前端，通过转动转杆带动棘轮和齿轮转动，同时齿轮带动齿条进行水平向前移动，而齿条则带动U型板和夹板向前移动夹紧于外部的指定位置上，同时齿条向前移动的过程中通过固定柱带动曲板转动，并且曲板通过滑动杆推动支撑板向后转动贴合于晶圆的前端面，实现对晶圆的贴合保护，达到了将晶舟稳定的固定支撑于外部，同时对烘烤运输中的晶圆进行支撑防止碰撞损伤的有益效果。

主权项：1.一种支撑烘烤晶舟，包括侧板（1）和晶舟主体（2），所述侧板（1）为两个，两个所述侧板（1）对称设置于所述晶舟主体（2）左右两端端部，且两个所述侧板（1）左右对立面开设有放置槽（3）；其特征在于：还包括支撑机构（4），所述支撑机构（4）设置于所述晶舟主体（2）后端，所述支撑机构（4）包括外壳（41）、转杆（42）、棘轮（43）、齿轮（44）、转筒（45）、卡板（46）、推板（47）、齿条（48）、U型板（49）、夹板（410）、弹簧（411）、传动机构（412）和支撑板（413），所述外壳（41）安装于所述晶舟主体（2）后端面左右两端，所述转杆（42）穿过所述外壳（41）后紧固于所述棘轮（43）内圈，所述齿轮（44）焊接于所述棘轮（43）底端面，且所述齿轮（44）与所述齿条（48）侧端面相互啮合，所述转筒（45）活动嵌套于所述转杆（42）外侧前端，且所述转筒（45）贯穿于所述外壳（41）中部，所述卡板（46）通过卷弹簧铰接于所述外壳（41）内侧左后端，且所述卡板（46）外侧右端活动伸入于所述棘轮（43）侧表面，所述推板（47）紧固于所述转筒（45）左端底部，且所述推板（47）贴合于所述卡板（46）前端面左端，所述齿条（48）滑动安装于所述外壳（41）内侧右端，且所述齿条（48）穿过所述外壳（41）后锁固于所述U型板（49）中部，所述夹板（410）铰接于所述U型板（49）内侧，所述弹簧（411）两端分别固定连接于所述夹板（410）右端面后端和所述U型板（49）内侧右端面，所述支撑板（413）通过所述传动机构（412）于所述外壳（41）右端转动；所述传动机构（412）包括曲板（4121）、凹槽（4122）、固定柱（4123）、滑动杆（4124）和螺栓（4125），所述曲板（4121）铰接于所述外壳（41）右端面前端开设的开口内侧，且所述曲板（4121）活动伸入于所述凹槽（4122）内侧，所述凹槽（4122）开设于所述齿条（48）右端面中部，所述固定柱（4123）紧固于所述凹槽（4122）内侧底端面，且所述固定柱（4123）活动伸入于所述曲板（4121）底端面左端开设的透孔内侧；所述滑动杆（4124）贯穿于所述曲板（4121）右端面开设的插槽内侧，且所述滑动杆（4124）贴合于所述支撑板（413）前端面；所述螺栓（4125）穿过曲板（4121）顶端面右端后与所述滑动杆（4124）顶端面开设的螺孔内侧螺纹连接；所述外壳（41）后端面中部开设有连接槽，且所述连接槽内侧左右两端开设有连接螺孔。

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