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申请/专利权人：安徽光智科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种锗晶段腐蚀装置，包括顶部开口的槽体，所述槽体的内腔中拆装设置有若干相互平行的隔板，所述隔板沿竖直方向延展，且所述隔板的底部固定设置于所述槽体的内腔底壁上，相邻两所述隔板间隙配合以形成能够容纳锗晶段的定位槽；所述隔板的至少一侧的边沿部与所述槽体的内腔侧壁间隙配合以形成供液体流通的导流通道，各所述定位槽通过所述导料通道相互连通。该锗晶段腐蚀装置能够提高锗晶段的腐蚀处理效率，并避免腐蚀处理过程中锗晶段发生结构损伤。
主权项：1.一种锗晶段腐蚀装置，其特征在于，包括顶部开口的槽体，所述槽体的内腔中拆装设置有若干相互平行的隔板，所述隔板沿竖直方向延展，且所述隔板的底部固定设置于所述槽体的内腔底壁上，相邻两所述隔板间隙配合以形成能够容纳锗晶段的定位槽；所述隔板的至少一侧的边沿部与所述槽体的内腔侧壁间隙配合以形成供液体流通的导流通道，各所述定位槽通过所述导流通道相互连通。
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权利要求：
百度查询： 安徽光智科技有限公司 一种锗晶段腐蚀装置
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