龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明公开了一种激光内部划片分割氧化镓的方法，所述方法包括，将氧化镓进行固定，在氧化镓的加工面覆盖胶膜后进行多道次的激光隐形切割，所述激光隐形切割根据氧化镓厚度选择不同的加工道次和激光参数；激光隐形切割完成后，所述胶膜扩展实现氧化镓的裂片，完成分割；其中，对于β‑氧化镓在激光切割时激光的加载方向和胶膜扩展时力的方向根据其晶面方向进行调控。本发明采用激光隐形切割的方式对针对不同厚度的氧化镓进行划片分割，划片效果好、崩边率低；还针对β‑氧化镓调整了激光切割时的激光方向以及裂片时的力的方向，优化了β‑氧化镓的裂片效果。
主权项：1.一种激光内部划片分割氧化镓的方法，其特征在于，包括，将氧化镓进行固定，在氧化镓的加工面覆盖胶膜后进行多道次的激光隐形切割，所述激光隐形切割根据氧化镓厚度选择不同的加工道次和激光参数；激光隐形切割完成后，所述胶膜扩展实现氧化镓的裂片，完成分割；其中，对于β-氧化镓在激光隐形切割时激光的加载方向和胶膜扩展时力的方向根据其晶面方向进行调控。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 一种激光内部划片分割氧化镓的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号