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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明提供了一种双峰信号模式的线扫描色散共焦测量方法及装置，涉及光谱共焦测量领域技术领域；方法包括：根据通过色散共焦组件的光线，在待测物上形成多个测量光斑；将滤波窗放置在待测物的中心位置，截取光斑中心，得到单峰特征信号；沿扫描方向不断移动滤波窗，直至单峰特征信号逐渐凹陷，单峰裂变为双峰；截取光斑护栏位置，在光斑护栏位置采集测量光斑的光谱功率分布信号并进行处理，得到双峰特征信号；对双峰特征信号进行峰值特征定位，并对峰值特征信号进行处理，得到测量结果。本发明沿扫描方向将滤波窗进行偏移产生双峰信号，获得更稳健的光谱功率分布信号，从而提高了输出结果的精确度和准确度。
主权项：1.一种双峰信号模式的线扫描色散共焦测量方法，其特征在于，所述方法包括：根据通过色散共焦组件的光线，在待测物上形成多个测量光斑；将滤波窗放置在待测物的中心位置，截取光斑中心，得到单峰特征信号；沿扫描方向不断移动所述滤波窗，直至所述单峰特征信号逐渐凹陷，单峰裂变为双峰；截取光斑护栏位置，在所述光斑护栏位置采集所述测量光斑的光谱功率分布信号并进行处理，得到双峰特征信号；对所述双峰特征信号进行峰值特征定位，并对峰值特征信号进行处理，得到测量结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种双峰信号模式的线扫描色散共焦测量方法及装置
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