龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：提供一种在等离子体处理装置中进行的等离子体处理方法。等离子体处理方法包括工序a，在该工序a中，在向等离子体处理装置的腔室内供给气体的状态下，向基板支承部的下部电极施加电压。基板支承部被设置在腔室内。等离子体处理方法还包括工序b，在该工序b中，在工序a中开始向下部电极施加电压之后，通过供给高频来生成等离子体。在基板支承部的基板支承面上未载置物体的状态下进行工序a和工序b。
主权项：1.一种等离子体处理方法，是在等离子体处理装置中进行的等离子体处理方法，所述等离子体处理方法包括：工序a，在向等离子体处理装置的腔室内供给气体的状态下，向基板支承部的下部电极施加电压，在该工序a中，所述基板支承部被设置在所述腔室内；以及工序b，在所述工序a中开始向所述下部电极施加所述电压之后，通过供给高频来生成等离子体，其中，在所述基板支承部的基板支承面上未载置物体的状态下进行所述工序a和所述工序b。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理方法和等离子体处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号