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申请/专利权人：天津海腾微电子有限公司
摘要：本申请涉及压电器件技术领域，尤其是涉及一种压电器件、压电器件的制作工艺、压电滤波器，通过在器件的中心位置增加至少两个释放通道和一个支撑柱。释放通道移到器件中部后，器件向外连接其它器件时，则不必考虑留出释放孔的位置，则可以允许器件之间的连线缩短，减少连接损耗，提升影响整体滤波器的插入损耗性能。支撑柱在中部，离谐振区中心位置较近，可以快速将产生的高温从下电极导到基底，达到快速散热的作用。另外，支撑柱周围是环形空气腔，可以经由释放孔快速与器件外界交换空气，带走热量，进一步提升散热效果。而之所以设置至少两个释放通道，也是为了避免支撑柱的存在阻挡腐蚀液的流动，进而影响空腔的形成。
主权项：1.一种压电器件，其特征在于，包括：依次叠加的上电极、压电层、下电极、空气腔、基底；所述基底包括一凸起的支撑柱，所述支撑柱与所述下电极的底部相连，将所述空气腔贯穿形成环形；所述下电极上，围绕所述支撑柱连接位置，分散设置有至少两个下电极孔洞；每一个下电极孔洞处，分别一一对应设置有一个释放孔，所述释放孔通过对应位置的所述下电极孔洞，贯通所述下电极、所述压电层，且所述释放孔在所述下电极上形成的贯通孔小于等于所述下电极孔洞；以每个释放孔的中心为圆心，以设定钻蚀距离为半径的圆形共同覆盖所述空气腔，并与所述空气腔的边缘有至少一个交点；任意两个释放孔的距离小于等于任一释放孔在背离所述支撑柱的半圆形内到所述空气腔的边缘的距离中的最大值；所述上电极上设置有一上电极孔洞，所述孔洞的位置覆盖所述上电极的中心、所述支撑柱和所述释放孔，且所述孔洞的边缘距离所述下电极孔洞的边缘的最短距离大于等于第一阈值，所述孔洞的边缘距离所述支撑柱的边缘的最短距离大于等于第二阈值，以使所述释放孔通过所述孔洞连通所述空气腔和所述压电器件外的空间；所述上电极、所述压电层、所述下电极、所述空气腔在叠加方向上的重叠区域构成所述压电器件的有效区；其中，所述上电极的中心包括所述上电极图形的重心。
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权利要求：
百度查询： 天津海腾微电子有限公司 压电器件、压电器件的制作工艺、压电滤波器
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