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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的目的在于提供一种能够合适地处理基板的基板处理方法以及基板处理装置。本发明涉及一种基板处理方法以及基板处理装置1。基板处理方法具有向由固定销103在比第一板101的上表面102更靠上方的位置支撑的基板W供给处理液的步骤S39。在向基板W供给处理液的步骤S39中，从第一吹出口105向上方吹出气体，并且从第二吹出口106向上方吹出气体。第一吹出口105形成于第一板101的上表面102的中央部。第二吹出口105形成于第一板101的上表面102的周缘部。第二吹出口106以比第一吹出口105大的流量吹出气体。
主权项：1.一种基板处理方法，其中，所述基板处理方法具有：向由支撑部在比第一板的上表面更靠上方的位置支撑的基板供给处理液的步骤；以及向所述支撑部移交基板的步骤，在向基板供给处理液的所述步骤中，从形成于所述第一板的所述上表面的中央部的第一吹出口向上方吹出气体，并且从形成于所述第一板的所述上表面的周缘部的第二吹出口向上方以比所述第一吹出口大的流量吹出气体，在向所述支撑部移交基板的所述步骤中，从所述第一吹出口向上方吹出气体，并且不从所述第二吹出口吹出气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理方法以及基板处理装置
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