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申请/专利权人：苏州博宏源设备股份有限公司

摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，公开一种抛光设备。其中抛光设备包括第一定位装置、第一抛光装置、第二定位装置、第二抛光装置和移动装置。第一定位装置包括第一载台、定心组件和直边定位组件，第一载台用于吸附晶圆，定心组件用于定位晶圆的中心，直边定位组件用于定位直边；第一抛光装置包括第一驱动组件和第一磨轮组件，第一驱动组件用于驱动晶圆绕直边往复转动，第一磨轮组件用于抛光直边；第二定位装置用于定位晶圆的中心；第二抛光装置用于抛光晶圆的圆弧边；移动装置用于携带晶圆依次移动至第一定位装置、第一抛光装置、第二定位装置和第二抛光装置。该抛光设备实现了对六寸晶圆的直边的定位和抛光，且对晶圆抛光的整个过程实现自动化。

主权项：1.一种抛光设备，用于抛光晶圆（10），所述晶圆（10）设置有圆弧边（102）和直边（101）；其特征在于，所述抛光设备包括：第一定位装置（1），其包括第一载台（11）、定心组件（12）和直边定位组件（13），所述第一载台（11）用于吸附所述晶圆（10），所述定心组件（12）用于定位所述晶圆（10）的中心，所述直边定位组件（13）用于定位所述直边（101）；所述定心组件（12）包括基板（121）、转轴（122）、固定座（123）、第一驱动件（124）和多个定心部件（125），所述固定座（123）固定于所述基板（121）的上方，所述转轴（122）转动连接于所述固定座（123），所述第一驱动件（124）用于驱动所述转轴（122）往复转动，所述转轴（122）设置有转盘部（1221），所述转盘部（1221）设置有多个沿径向延伸的导向槽（1222），多个所述定心部件（125）与多个所述导向槽（1222）一一对应；所述定心部件（125）包括摆杆（1251）和第一定位帽（1252），所述摆杆（1251）的中部转动连接于所述固定座（123），所述摆杆（1251）的一端滑动连接于所述导向槽（1222），另一端设置有第一定位帽（1252），所述摆杆（1251）转动时，所述第一定位帽（1252）能够抵接于所述晶圆（10）的圆弧边（102）；第一抛光装置（2），其包括第一驱动组件（21）和第一磨轮组件（22），所述第一驱动组件（21）用于驱动所述晶圆（10）绕所述直边（101）往复转动，所述第一磨轮组件（22）用于抛光所述直边（101）；所述第一磨轮组件（22）包括直边磨轮（221）、第四驱动件（222）和第二驱动部件（223），所述第四驱动件（222）驱动连接于所述直边磨轮（221），所述第四驱动件（222）用于驱动所述直边磨轮（221）转动，以打磨所述直边（101）；所述第二驱动部件（223）驱动连接于所述第四驱动件（222），所述第二驱动部件（223）用于驱动所述直边磨轮（221）靠近或远离所述直边（101）；第二定位装置（3），其用于定位所述晶圆（10）的中心；第二抛光装置（4），其用于抛光所述晶圆（10）的所述圆弧边（102）；移动装置（5），其用于携带所述晶圆（10）依次移动至所述第一定位装置（1）、所述第一抛光装置（2）、所述第二定位装置（3）和所述第二抛光装置（4）。

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权利要求：

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