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申请/专利权人：速普仪器(太仓)有限公司
摘要：本申请涉及离子溅射仪以及行星式与公转二合一样品台结构，第一样品台设有第一定位轴，第二样品台于其转动轴线方向上设有与第一定位轴相匹配的第二定位轴；第二定位轴可拆卸地固定于第一定位轴上，以使第二样品台通过第二定位轴定位安装于第一定位轴，从而在第一样品台转动的状态下，带动第二样品台转动；第一样品台为行星式样品台及公转样品台中的一个，第二样品台为行星式样品台及公转样品台中的另一个。提供了行星式样品台及公转样品台的两种样品台兼容设计，一套产品同时满足了各类样品的导电层喷镀需求，无论是小尺寸样品及大尺寸样品均可适用，既能使得小尺寸样品喷镀更加均匀，同时又能满足大尺寸样品喷金镀膜的处理目的。
主权项：1.一种行星式与公转二合一样品台结构（100），应用于离子溅射仪中，其特征在于，包括用于承载样品的样品台（7）；所述样品台（7）包括第一样品台及第二样品台，所述第一样品台于其转动轴线方向上设有第一定位轴（2），所述第二样品台于其转动轴线方向上设有与所述第一定位轴（2）相匹配的第二定位轴（4）；所述第二定位轴（4）可拆卸地固定于所述第一定位轴（2）上，以使所述第二样品台通过所述第二定位轴（4）定位安装于所述第一定位轴（2），且位于所述第一样品台上，从而在所述第一样品台转动的状态下，带动所述第二样品台转动；所述第一样品台为行星式样品台（1）及公转样品台（3）中的一个，所述第二样品台为行星式样品台（1）及公转样品台（3）中的另一个。
全文数据：
权利要求：
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