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申请/专利权人:清英电子(淮安)有限公司
摘要:本发明公开了一种蚀刻液纯化工艺中成品的多点取样装置,包括取样板,取样板的侧面由上而下等距安装有若干个取样口,所述多点取样装置还包括负压抽吸管,负压抽吸管的内部具有与取样口同等数量的负压腔室,取样板的上端安装有与取样口同等数量的一号连接阀,取样口处于取样板内部的一端通过一号管与一号连接阀连接,若干个一号连接阀通过二号管一一与负压抽吸管的一端连接,若干个二号管的另一端与若干个负压腔室内一一对应。本发明直接装载在纯化设备上,如纯化罐或者蒸馏塔,能够实时对纯化设备内的蚀刻液进行取样且排出,检测中心可以及时获取样本检测,一旦发现发问题,可以使蚀刻液继续纯化处理,能够随时随地的取样。
主权项:1.一种蚀刻液纯化工艺中成品的多点取样装置,包括取样板(2),取样板(2)的侧面由上而下等距安装有若干个取样口(3),其特征在于:所述多点取样装置还包括负压抽吸管(4),负压抽吸管(4)的内部具有与取样口(3)同等数量的负压腔室(41),取样板(2)的上端安装有与取样口(3)同等数量的一号连接阀(8),取样口(3)处于取样板(2)内部的一端通过一号管(14)与一号连接阀(8)连接,若干个一号连接阀(8)通过二号管(9)一一与负压抽吸管(4)的一端连接,若干个二号管(9)的另一端与若干个负压腔室(41)内一一对应,二号管(9)用于将样本导入负压腔室(41)内,压抽吸管(4)的底部连接有与负压腔室(41)一一对应的出液管(7),负压腔室(41)内的样本从出液管(7)排出;所述负压腔室(41)通过外部的真空发生器进行抽真空,多点取样装置安装时,取样板(2)留存在蚀刻液纯化罐中,出液管(7)的出口端贯穿到蚀刻液纯化罐的外部。
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