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申请/专利权人：罗博特科智能科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种硅片传输装置，用于从第一缓存机构中取片和或向第二缓存机构中入片，包括安装板、设置在所述安装板上的气动悬浮机构和驱动机构，所述气动悬浮机构包括汽浮板组件，所述汽浮板组件的顶部设置有供气体流出的出气孔；所述驱动机构包括传送履带以及驱动所述传送履带运动的驱动组件，所述传送履带上设置有与硅片侧面接触的挡块，所述驱动机构位于硅片长度或宽度方向的两侧，所述传送履带沿水平方向转动；两个所述传送履带之间的间距大于所述硅片的长度或宽度。本发明的传输装置，将传送履带设置在硅片的两侧之外，两个传送履带之间的间距大于硅片的宽度或长度，使得履带上的挡块接触硅片后方侧面，推动硅片向前移动。
主权项：1.一种硅片传输装置，其特征在于，包括安装板、设置在所述安装板上的气动悬浮机构和驱动机构，所述气动悬浮机构包括汽浮板组件，所述汽浮板组件的顶部设置有供气体流出的出气孔；所述驱动机构包括传送履带以及驱动所述传送履带运动的驱动组件，所述传送履带上设置有与硅片侧面接触的挡块，所述驱动机构位于硅片长度或宽度方向的两侧，所述传送履带沿水平方向转动；两个所述传送履带之间的间距大于所述硅片的长度或宽度。
全文数据：
权利要求：
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