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一种TaC陶瓷涂层的制备方法 

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摘要:本发明涉及一种TaC陶瓷涂层的制备方法;属于涂层设计制备技术领域。所述制备方法依次包括石墨表面预氧化处理、纳米线的同步制备、TaC陶瓷涂层的制备。本发明通过对石墨基体的预氧化,提高了石墨基底表面粗糙度,增加基体与涂层的机械结合强度和化学反应活性。同时本发明设计了低温原位催化生长的复合纳米线的工艺配合后续TaC陶瓷涂层低温制备工艺,得到了结合强度极高的涂层产物;本发明通过原位生成的复合纳米纤维的同步增韧作用,不仅有效缓解TaC陶瓷涂层与石墨基体热膨胀系数的差异,同时利用复合纳米线的小尺寸效应,有效提高其与TaC相的界面能,提高涂层增韧效果。本发明工艺简单可控,所得产品性能优良,便于工业化应用。

主权项:1.一种TaC陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:步骤一:石墨表面预氧化处理提高石墨基体的化学活性,将石墨基体在空气环境下进行预氧化,当预氧化温度为400~500℃时,控制氧化时间为10~65min;当预氧化温度大于500℃且小于等于600℃时,控制氧化时间为5~12min;步骤二:纳米线的同步制备以进行预氧化后的石墨为基体,涂刷三价铁溶液后在80~100℃干燥2~5小时;采用催化化学气相沉积法,以四氯化铪为铪源、四氯化硅为硅源,以石墨为碳源,氩气为稀释气体,压力为500Pa~800Pa,沉积温度为990~1060℃,沉积时间控制在0.5h~3h,在石墨表面原位同步制备碳化硅纳米线和碳化铪纳米线;沉积结束后,置于盐酸溶液中浸泡0.5~5小时,后取出置于蒸馏水中清洗3~5次,后在80~100℃干燥2~5小时;或以进行预氧化后的石墨为基体,涂刷三价铁溶液后在80~100℃干燥2~5小时,采用催化化学气相沉积法,以四氯化铪为铪源、四氯化硅为硅源、五氯化钽为钽源,以石墨为碳源,氩气为稀释气体,压力为500Pa~800Pa,沉积温度为1040~1060℃,沉积时间控制在0.5h~3h,在石墨表面原位同步制备碳化硅纳米线、碳化铪纳米线和碳化钽纳米线;沉积结束后,置于盐酸溶液中浸泡0.5~5小时,后取出置于蒸馏水中清洗3~5次,后在80~100℃干燥2~5小时;得到带有纳米线的石墨基板;三价铁溶液的摩尔浓度控制在0.5~2.5molL;步骤三:TaC陶瓷涂层的制备以TaCl5和C3H6分别为Ta源和碳源,采用CVD方法在带有纳米线的石墨基板表面制备TaC陶瓷涂层,制备涂层时,所用稀释气体为Ar,沉积温度为1000~1110℃,沉积时间控制在1.5h~2.5h,压力为500Pa~1000Pa;三价铁溶液选自三氯化铁、硝酸铁、硫酸铁中的至少一种;所得TaC陶瓷涂层,其与碳质基底的结合强度大于等于17MPa。

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