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摘要：本发明涉及半导体长晶技术领域，具体涉及一种碳材料表面TaC涂层，包括过渡层和表面层，通过将石墨粉、酚醛树脂、环氧树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂混合得到过渡层浆料，将过渡层浆料涂附于碳材料表面，形成过渡层；通过将TaC粉末、氧化硼粉末、酚醛树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂混合得到表面层浆料，将表面层浆料涂附于过渡层背离碳材料的一侧，形成表面层。通过本发明制备的TaC涂层碳素件抗腐蚀及抗热冲击性能更好，使用寿命更长。
主权项：1.一种碳材料表面TaC涂层，其特征在于，包括过渡层和表面层，所述过渡层包括石墨粉、酚醛树脂、环氧树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂，通过将石墨粉、酚醛树脂、环氧树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂混合得到过渡层浆料，将过渡层浆料涂附于碳材料表面，形成过渡层；所述表面层包括TaC粉末、氧化硼粉末、酚醛树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂，通过将TaC粉末、氧化硼粉末、酚醛树脂、无水乙醇、蒸馏水及硅烷偶联剂混合得到表面层浆料，将表面层浆料涂附于过渡层背离碳材料的一侧，形成表面层。
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百度查询： 杭州幄肯新材料科技有限公司 一种碳材料表面TaC涂层及其制备方法
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