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申请/专利权人：海太半导体(无锡)有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆切割机刀架，包括刀架呈7字形，刀架顶部一侧横向放置有气缸，限高装刀调整模块穿设在刀架正中，刀片冷却模块卡设在刀架的一侧，刀片冷却模块顶部一侧与气缸臂顶部相连；切割处废料清洁模块卡设在刀架远离刀片冷却模块的一侧。新型所提出的晶圆切割机刀架更换刀片后重新安装时装回连接块，在已经换好的刀具外侧套设刀具套筒，将刀片冷却模块通过气缸带动沿刀架顶部移动至正中，使刀片冷却模块中一号气管移动至刀具的正下方，将一号气管底部外侧壁贴合刀具套筒中限距凸台的底部最下沿，取下刀具套筒即可，无需用钢直尺手动测量修正一号气管底部喷口度距离刀具最下沿的距离，提高换刀或者拆卸保养后的重装效率。
主权项：1.一种晶圆切割机刀架，其特征在于，包括：刀架1，所述刀架1呈7字形，所述刀架1顶部一侧横向放置有气缸2，所述气缸2正中穿设有气缸臂21；限高装刀调整模块3，所述限高装刀调整模块3穿设在刀架1正中；刀片冷却模块4，所述刀片冷却模块4卡设在刀架1的一侧，所述刀片冷却模块4顶部一侧与气缸臂21顶部相连；切割处废料清洁模块5，所述切割处废料清洁模块5卡设在刀架1远离刀片冷却模块4的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 海太半导体(无锡)有限公司 一种晶圆切割机刀架
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