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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种可容易地探测瓶内的液体的余量的瓶的液探测器具、半导体制造装置、以及控制方法。瓶的液探测器具90的保持部91具有：底面部91a，其用于载置处理液容器51的底部51e；和第1限制部91b，其与底面部91a连续，并且，沿着处理液容器51的外表面延伸到处理液容器51的上部，用于限制处理液容器51的运动。瓶的液探测器具90的传感器92设置于第1限制部91b的靠处理液容器51那一侧的面，用于探测处理液容器51的内部的液面。
主权项：1.一种瓶的液探测器具，其是与半导体的制造有关的瓶的液探测器具，其中，该瓶的液探测器具具备：保持部，其具有底面部和第1限制部，该底面部用于载置瓶的底部，该第1限制部与所述底面部连续，并且，沿着所述瓶的外表面延伸到所述瓶的上部，用于限制所述瓶的运动；以及传感器，其设置于所述第1限制部的靠所述瓶那一侧的面，用于探测所述瓶的内部的液面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 瓶的液探测器具、半导体制造装置、以及控制方法
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