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申请/专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
摘要：本发明提供了一种纳米复合多层结构二硫化钨基薄膜及其制备方法，属于固体润滑薄膜技术领域。所述薄膜的制备方法，包括以下步骤：首先，得到预处理的基体。然后，利用磁控溅射沉积技术，用纯WS2‑Au靶进行射频溅射沉积WS2‑Au复合层，用Ti靶直流溅射沉积Ti薄层，所述的WS2‑Au复合层与Ti层呈周期性、交替沉积至薄膜预设厚度，即可得到纳米复合多层结构WS2‑AuTi薄膜。本发明选用与WS2晶体相容性良好的Au、Ti元素优化薄膜的组分与结构，设计制备了一种具有基面择优取向、致密的纳米复合多层结构WS2‑AuTi薄膜，其中Au原子百分含量优选为0.1~10%。这种纳米复合多层结构固体润滑薄膜材料在真空环境下实现了兼具高耐磨性、长寿命与超低摩擦系数的有效统一。
主权项：1.一种纳米复合多层结构二硫化钨基薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）基体的预处理：将钢基体依次在石油醚、乙醇和丙酮中分别超声清洗并烘干，以除去表面污染物和杂质，即得预处理的基体；（2）制备固体润滑薄膜：通过磁控溅射方法在真空环境中先用Ar等离子体进行预溅射基体表面，以进一步除去基体表面的氧化物杂质；随后通过WS2-Au靶和Ti靶呈周期性、交替溅射沉积至薄膜预设厚度，随炉冷却至室温，即可得到纳米复合结构WS2-AuTi薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院兰州化学物理研究所 一种纳米复合/多层结构二硫化钨基薄膜及其制备方法
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