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申请/专利权人：宁波元芯光电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种热相移器及其制作方法，包括深刻蚀悬空波导结构，所述深刻蚀悬空波导结构包括深刻蚀掩埋悬空波导区，所述深刻蚀掩埋悬空波导区包括：深刻蚀掩埋悬空波导，包括从上往下依次设置的上包层、下包层、空气隔热层和衬底，所述上包层和下包层部分接触，并且上包层和下包层内包裹有波导芯层；以及热电极，置于深刻蚀掩埋悬空波导的顶部。
主权项：1.一种热相移器，包括深刻蚀悬空波导结构1，其特征在于：所述深刻蚀悬空波导结构1包括深刻蚀掩埋悬空波导区11，所述深刻蚀掩埋悬空波导区11包括：深刻蚀掩埋悬空波导，包括从上往下依次设置的上包层111、下包层113、空气隔热层117和衬底115，所述上包层111和下包层113部分接触，并且上包层111和下包层113内包裹有波导芯层112；以及热电极118，置于深刻蚀掩埋悬空波导的顶部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波元芯光电子科技有限公司 一种热相移器及其制作方法
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