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申请/专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
摘要：一种柔性限位机构及其系统，涉及机械限位技术领域。该柔性限位机构包括限位主体和调节螺钉组件；限位主体包括基板部、第一方向调节部、第二方向调节部和第三方向调节部；第二方向调节部设置有具有第二限位表面的容纳槽，且在容纳槽处连接有两个第三方向调节部；两个第三方向调节部螺接有第三调节螺钉，两个第三调节螺钉之间的距离沿第三方向可调节；第一方向调节部螺接有能够改变第一方向调节部尺寸的第一调节螺钉，第二方向调节部螺接有能够改变第二方向调节部尺寸的第二调节螺钉。该柔性限位系统包括柔性限位机构。本发明提供一种柔性限位机构及其系统，以解决现有技术中存在的限位机构不能同时进行多个方向的限位以及刚度不可调的技术问题。
主权项：1.一种柔性限位机构，其特征在于，包括限位主体和调节螺钉组件；所述限位主体具有两两相交的第一方向、第二方向和第三方向；所述限位主体包括基板部、第一方向调节部、第二方向调节部和第三方向调节部；所述第一方向调节部和所述第二方向调节部均固定连接在所述基板部的同一侧；所述第二方向调节部设置有容纳槽；沿所述第二方向，所述容纳槽相对设置的两个槽壁为第二限位表面，所述第二方向调节部在所述容纳槽处固定连接有沿所述第三方向相对设置的两个所述第三方向调节部；所述调节螺钉组件包括第一调节螺钉、第二调节螺钉和第三调节螺钉；两个所述第三方向调节部分别螺接有所述第三调节螺钉，所述第三调节螺钉的端面为第三限位表面，两个所述第三调节螺钉之间的距离沿所述第三方向可调节，以改变两个所述第三限位表面之间的距离；所述第一方向调节部螺接有所述第一调节螺钉，所述第一调节螺钉能够改变所述第一方向调节部沿所述第一方向的尺寸；所述第一方向调节部具有第一限位表面；所述第二方向调节部螺接有所述第二调节螺钉，所述第二调节螺钉能够改变所述第二方向调节部沿所述第二方向的尺寸。
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权利要求：
百度查询： 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 柔性限位机构及其系统
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