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申请/专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
摘要：本发明公开了一种刻蚀设备危险气体报警及应急处理系统，包括具有物联网功能的可编程逻辑控制器PLC、人机界面HMI、24V开关电源、5V开关电源、若干气体传感器、若干阀、若干真空泵和尾气处理装置，通过PLC采集各个位置的气体传感器数据进行数据处理，通过HMI的人机交互将处理好的数据展示出来，通过HMI用来显示各气体传感器的当前数值以及相关的阀、真空泵及尾气处理装置的当前状态。本发明可防止或减少危险气体的持续泄露，并将残余的有害气体抽出至尾气处理装置中进行处理。
主权项：1.一种刻蚀设备危险气体报警及应急处理系统，其特征在于，包括具有物联网功能的可编程逻辑控制器PLC、人机界面HMI、24V开关电源、5V开关电源、若干气体传感器、若干阀、若干真空泵和尾气处理装置，通过PLC采集各个位置的气体传感器数据进行数据处理，通过HMI的人机交互将处理好的数据展示出来，通过HMI用来显示各气体传感器的当前数值以及相关的阀、真空泵及尾气处理装置的当前状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鹏举半导体设备技术有限公司 一种刻蚀设备危险气体报警及应急处理系统
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