龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本发明提供了一种背照式图像传感器的制备方法，包括如下步骤：提供一初始衬底；于初始衬底表面依次形成第一外延层及第二外延层，第一外延层及第二外延层的材料不同；于第二外延层表面形成像素阵列层；提供一支撑衬底；将支撑衬底与像素阵列层键合，得到一键合结构；以第二外延层为停止层，去除初始衬底及第一外延层。本发明利用在初始衬底上增加作为牺牲层的第一外延层、并在第一外延层上增加第二外延层作为后续形成的器件的新衬底的方法，在利用减薄工艺减薄背照式图像传感器的背部厚度时，令去除初始衬底及第一外延层后的背照式图像传感器的背面更加均匀平坦，提高背照式图像传感器的背部的均匀性，提高背照式图像传感器的良品率和器件性能。
主权项：1.一种背照式图像传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一初始衬底；于所述初始衬底表面依次形成第一外延层及第二外延层，所述第一外延层及第二外延层的材料不同；于所述第二外延层表面形成像素阵列层；提供一支撑衬底；将所述支撑衬底与所述像素阵列层键合，得到一键合结构；以所述第二外延层为停止层，去除所述初始衬底及所述第一外延层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 背照式图像传感器的制备方法及背照式图像传感器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号