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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本申请提供的微型光栅光谱仪，入射光束通过所述输入光纤1后经所述入射狭缝入射进入所述第一反射镜71，所述第一反射镜71对入射光线进行准直，准直后的光束进入所述衍射光栅，所述衍射光栅对入射的光束进行分光处理，经分光后的光束经所述第二反射镜72进行重聚焦，重聚焦后的光束通过所述出射狭缝被所述硅光电探测器3接收，通过转动所述衍射光栅以使所述Si光电探测器3接收到不同波长的光谱信息，本申请提供的微型光栅光谱仪，采用光栅型分光系统，解决了滤光片型光谱仪中单色光的谱带较宽，波长分辨率差的问题，通过旋转衍射光栅可以得到连续光谱。同时采用适合小型化的改进型C‑T型光路结构，具有两个反射镜分别用于准直和重聚焦，这种构型不仅可以为校正像差提供更多的自由度，还大大缩小了光谱仪的体积。
主权项：1.一种微型光栅光谱仪，其特征在于，包括输入光纤1、Si光电探测器3、载体基板4、狭缝光栅集成件5、间隔件6和光学基板7，所述载体基板4、所述间隔件6和所述光学基板7形成一腔体，所述输入光纤1穿设于所述载体基板4，所述载体基板4朝向所述腔体的表面上设置有一个所述Si光电探测器3及所述狭缝光栅集成件5，所述狭缝光栅集成件5包括入射狭缝、衍射光栅及出射狭缝，所述衍射光栅可转动，所述光学基板7上设置有第一反射镜71及第二反射镜72，其中：入射光束通过所述输入光纤1后经所述入射狭缝入射进入所述第一反射镜71，所述第一反射镜71对入射光线进行准直，准直后的光束进入所述衍射光栅，所述衍射光栅对入射的光束进行分光处理，经分光后的光束经所述第二反射镜72进行重聚焦，重聚焦后的光束通过所述出射狭缝被所述硅光电探测器3接收，通过转动所述衍射光栅以使所述Si光电探测器3接收到不同波长的光谱信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种微型光栅光谱仪
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