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申请/专利权人：扬州大学
摘要：本发明公开了一种基于错位刻蚀槽结构的多层波导光栅天线及其制备方法，包括由衬底，所述衬底的上部设有下包层，所述下包层上部设有上包层，在上包层和下包层之间自下而上依次设有下衍射层、下隔离层、波导层、上隔离层、上衍射层，其中，所述上衍射层和下衍射层分别设有多个均匀的刻蚀槽结构，所述上衍射层的刻蚀槽结构和下衍射层的刻蚀槽结构错位设置。本发明可有效减小光栅天线的扰动系数，从而增加天线的有效长度；将上下刻蚀槽进行偏移错位，打破光栅天线结构的垂直对称性，从而进一步提升了天线的向上辐射效率。因此可同时实现大有效长度和高方向性，这有利于解决目前光学相控阵远场分辨率不高，盲点过多的问题。
主权项：1.一种基于错位刻蚀槽结构的多层波导光栅天线，其特征在于，包括由衬底8，衬底8上部设有下包层7，所述下包层7上部设有上包层1，在上包层1和下包层7之间自下而上依次包裹有下衍射层6、下隔离层5、波导层4、上隔离层3、上衍射层2，其中，所述上衍射层2和下衍射层6分别设有多个均匀的刻蚀槽结构，所述上衍射层2的刻蚀槽结构和下衍射层6的刻蚀槽结构错位设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 扬州大学 一种基于错位刻蚀槽结构的多层波导光栅天线及其制备方法
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