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申请/专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
摘要：一种晶圆夹持机构，包括晶圆压环和多个沿晶圆压环圆周方向分布的晶圆压紧件，晶圆压环上沿圆周方向设置有多个安装弹片和用于避让安装弹片形变的避让部，多个晶圆压紧件一一对应的与多个安装弹片连接。本发明晶圆压紧件与安装弹片相连，在晶圆压环向下运动时，安装弹片带动晶圆压紧件整体向下移动，减少了晶圆压紧件与晶圆之间的滑动摩擦距离，基本上晶圆压紧件与晶圆之间不会存在相对运动，从而可大幅降低在压紧过程中带来的颗粒污染；在安装弹片的作用下，各晶圆压紧件内侧与晶圆相接触的位置有较大的运动空间，因此在晶圆压环变形时，仍然可以通过加大晶圆压环向下运动的距离来使所有的晶圆压紧件与晶圆都接触，为晶圆提供可靠的压紧力。
主权项：1.一种晶圆夹持机构，包括晶圆压环1和多个沿晶圆压环1圆周方向分布的晶圆压紧件2，其特征在于：所述晶圆压环1上沿圆周方向设置有多个安装弹片3和用于避让所述安装弹片3形变的避让部4，多个所述晶圆压紧件2一一对应的与多个所述安装弹片3连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种晶圆夹持机构
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