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一种酸性铜蚀刻液及其制备方法 

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申请/专利权人:合肥中聚和成电子材料有限公司

摘要:本发明公开了一种酸性铜蚀刻液及其制备方法,属于金属表面化学处理技术领域,该酸性铜蚀刻液包括以下质量百分比的原料:氯化铜3~6%、盐酸5~10%、氯化镧0.5~1%、氯化钠1~3%、氯化铵2~3%、N,N‑二2‑吡啶甲基乙二胺0.01~0.5%、双硫脲改性壳聚糖2~5%、表面活性剂0.1~2%、氮杂冠醚0.5~1.5%、N,N‑二甲基甲酰胺4~8%、余量为去离子水;制备过程将上述原料按照比例混合即可,本发明提供的酸性铜蚀刻液对液晶面板蚀刻时,能够降低侧蚀量,并避免了复杂沟道蚀刻后有残渣的问题,此外,本发明制备酸性铜蚀刻液的方法简单易行,原料易得,对环境污染小。

主权项:1.一种酸性铜蚀刻液,其特征在于,包括以下原料:氯化铜、盐酸、氯化镧、氯化钠、氯化铵、N,N-二2-吡啶甲基乙二胺、双硫脲改性壳聚糖、表面活性剂、氮杂冠醚、N,N-二甲基甲酰胺、去离子水。

全文数据:

权利要求:

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