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申请/专利权人：上海顶峰东科化学技术有限公司
摘要：本发明公开了一种超高纯电子级双氧水的生产工艺，所述生产工艺包括如下步骤：将工业级双氧水进行过滤去除水中颗粒杂质，得到预处理双氧水；将预处理双氧水进行稀释、冷却后进行一级膜过滤，再经冷却后进行二级膜过滤，然后，继续冷却后进行三级膜过滤，得到半成品；将半成品依次经过阳离子树脂和阴离子树脂，再经过由阳离子树脂和阴离子树脂组成的混床树脂，然后过滤去除微米和纳米级颗粒，即得超高纯电子级双氧水；本发明生产工艺以工业双氧水为原料，通过特定工艺处理，能够充分去除工业双氧水中的杂质，进而制备得到一种超高纯电子级双氧水，并能够满足集成电路制备过程中的使用要求。
主权项：1.一种超高纯电子级双氧水的生产工艺，其特征在于，包括如下步骤：a将工业级双氧水进行过滤去除水中颗粒杂质，得到预处理双氧水；b将预处理双氧水进行稀释、冷却后进行一级膜过滤，再经冷却后进行二级膜过滤，然后，继续冷却后进行三级膜过滤，得到半成品；c将半成品依次经过阳离子树脂和阴离子树脂，再经过由阳离子树脂和阴离子树脂组成的混床树脂，然后过滤去除微米和纳米级颗粒，即得超高纯电子级双氧水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海顶峰东科化学技术有限公司 一种超高纯电子级双氧水的生产工艺
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