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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
摘要：本发明属于晶圆刻蚀图形检测技术领域，公开了一种接触式轮廓仪双镜头检测装置，包括设置于晶圆载台的上方的安装板，安装板上设置有测试探头，测试探头上设置有用于与晶圆载台上的晶圆接触的探针，测试探头的上方设置有俯视镜头，俯视镜头的聚焦点为晶圆上的刻蚀图形，以初步判断刻蚀图形的质量；测试探头的一侧设置有侧视镜头，侧视镜头的聚焦点为探针的针尖，以判断探针是否接触到晶圆及探针的测试位置是否准确。该接触式轮廓仪双镜头检测装置既可以对刻蚀图形质量作出初步判断，又可以实时清楚观察到探针是否接触到晶圆，同时也可以判定测试探头的位置是否准确，相比于单摄像头而言图像显示更加全面，检测结果更加可靠。
主权项：1.接触式轮廓仪双镜头检测装置，其特征在于，包括设置于晶圆载台1的上方的安装板2，所述安装板2上设置有测试探头3，所述测试探头3上设置有用于与所述晶圆载台1上的晶圆接触的探针4，所述测试探头3的上方设置有俯视镜头5，所述俯视镜头5的聚焦点为所述晶圆上的刻蚀图形，以初步判断所述刻蚀图形的质量；所述测试探头3的一侧设置有侧视镜头6，所述侧视镜头6的聚焦点为所述探针4的针尖，以判断所述探针4是否接触到所述晶圆及所述探针4的测试位置是否准确。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 接触式轮廓仪双镜头检测装置
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