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一种振镜同轴扫描三维轮廓识别与激光加工金刚石成形装置及方法 

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申请/专利权人:杭州银湖激光科技有限公司

摘要:本申请公开了一种振镜同轴扫描三维轮廓识别与激光加工金刚石成形装置及方法,其属于金刚石加工技术领域。包括:振镜系统,集成主频分束器,振镜系统形成激光加工光路,激光加工光路经过主频分束器;第一凸透镜,朝向主频分束器;针孔板,形成与第一凸透镜的中轴共轴的针孔;探测器,形成朝向针孔的探测端。本申请的有益效果在于:振镜系统发出的激光照射在金刚石表面一点,激光在金刚石表面反射并从主频分束器射出,再由第一凸透镜和针孔板进入探测器,以对金刚石表面的点位进行定位,从而识别需要加工的区域并获取其形貌信息,再由振镜系统控制激光对金刚石表面进行加工,并根据加工位置的形貌信息调整加工参数,实现高加工精度。

主权项:1.一种振镜同轴扫描三维轮廓识别与激光加工金刚石成形装置,其特征在于,包括:振镜系统,集成主频分束器,所述振镜系统形成激光加工光路,所述激光加工光路经过所述主频分束器;第一凸透镜,朝向所述主频分束器;针孔板,形成与所述第一凸透镜的中轴共轴的针孔;探测器,形成朝向所述针孔的探测端;所述振镜系统、所述第一透镜、所述针孔板和所述探测器配合形成共焦显微系统。

全文数据:

权利要求:

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