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申请/专利权人：沈阳芯俐微电子设备有限公司
摘要：本发明提供了一种校准装置，包括导向部、驱动部和支撑部。所述校准装置中，所述导向部使所述两个基板的中心和特征标记结构分别实现对准，所述驱动部中的旋转驱动部和运动转换部通过将旋转运动转化为直线运动来驱动所述置物部朝向或远离所述相对置物部运动，从而实现了对准。本发明还提供了包含所述校准装置的对准系统及其对准方法。
主权项：1.一种校准装置，用于辅助对两个基板进行对准，所述两个基板均具有特征标记结构，其特征在于，所述校准装置包括导向部、驱动部和支撑部；所述导向部使所述两个基板的中心和特征标记结构分别实现对准；所述驱动部包括设置于所述导向部的旋转驱动部和运动转换部，所述运动转换部将所述旋转驱动部的旋转运动转化为直线运动；所述运动转换部包括套管结构和盘结构，所述套管结构设置于所述盘结构，所述套管结构带动所述盘结构运动；所述支撑部包括设置于所述运动转换部的置物部以及与所述置物部相对设置的相对置物部，所述置物部在所述直线运动的带动下朝向或远离所述相对置物部运动；所述置物部设置于所述盘结构，所述盘结构包括盘体，所述置物部和所述套管结构均设置于所述盘体，所述套管结构通过带动所述盘体的运动使所述置物部运动；所述导向部包括平面导向结构和设置于所述平面导向结构的旋转导向结构，所述平面导向结构在外部驱动的作用下使所述两个基板的中心实现对准，所述旋转导向结构在外部驱动的作用下使所述两个基板的特征标记结构实现对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳芯俐微电子设备有限公司 校准装置、对准系统及对准方法
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