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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：处理液喷出装置1具有：判定部12，判定开闭阀72的关闭速度，该开闭阀72用以开闭对喷嘴251供给处理液的处理液供给流路；以及拍摄部65，在开闭阀72将处理液供给流路关闭且停止从喷嘴251喷出处理液时，从与处理液的喷出方向不同的方向拍摄喷嘴251的前端部的流路以及从该喷嘴251的前端沿着处理液的喷出方向朝前方延伸的处理液的喷出路径；判定部12依据拍摄部65拍摄喷嘴251的前端部的流路与喷出路径而得到的原始图像中的喷嘴251的前端部的流路以及喷出路径的图像进行规定的判定处理，由此判定开闭阀72的关闭速度是否适当或比适当的速度慢还是快的开闭阀72的关闭速度的区分。
主权项：1.一种处理液喷出装置，用以从具有透明的前端侧部分的喷嘴喷出处理液，并具有：判定部，判定开闭阀的关闭速度，所述开闭阀用以将对所述喷嘴供给处理液的处理液供给流路予以开闭；驱动机构，使所述开闭阀进行开闭动作；关闭速度调整部，依据所述判定部所判定的所述开闭阀的关闭速度的区分，以所述关闭速度变成适当的速度的方式调整所述驱动机构的动作；以及拍摄部，在所述开闭阀将所述处理液供给流路关闭且停止从所述喷嘴喷出处理液时，从与处理液的喷出方向不同的方向拍摄所述喷嘴的前端部的流路以及从所述喷嘴的前端沿着所述处理液的喷出方向朝前方延伸的所述处理液的喷出路径；所述判定部具有特征量算出部和规定基础判定部，该特征量算出部针对所述拍摄部拍摄所述喷嘴的前端部的流路与所述喷出路径而得到的原始图像中的与所述喷嘴的前端部的流路对应的第一图像区域的第一图像以及与所述喷出路径对应的第二图像区域的第二图像双方的图像，算出所述第一图像与所述第二图像各自的与所述处理液的图像的面积相应的规定的特征量，该规定基础判定部将规定的判定规则应用于所述第一图像的所述特征量与所述第二图像的所述特征量，由此判定所述开闭阀的关闭速度的所述区分，通过进行所述规定基础判定部的判定处理，由此判定所述开闭阀的关闭速度是否适当或比适当的速度慢还是快的所述开闭阀的关闭速度的区分，所述关闭速度调整部根据所述规定基础判定部的判定，调整所述驱动机构的动作以调整所述开闭阀的关闭速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 处理液喷出装置及方法、基板处理装置及开闭阀调整方法
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