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申请/专利权人：源卓微纳科技(苏州)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种双面曝光系统的校正方法及曝光方法，所述双面曝光系统包括校正对位系统包括至少两个对位相机，设定所述校正对位系统的一对位相机为基准相机，获取以基准相机为基准的世界坐标系；其余对位相机均统一至基准相机的世界坐标系；第一曝光系统和第二曝光系统分别曝光第一图形标记和第二图形标记至运动平台上设置的标尺；通过对位相机获取第一图形标记和第二图形标记的世界坐标，得到所述第一曝光系统和第二曝光系统的世界坐标。根据所述第一曝光系统和所述第二曝光系统的世界坐标，计算所述第一曝光系统和第二曝光系统的图形数据位置坐标信息。将各个部件的坐标系统一至同一坐标系，校正上下曝光出现的位置偏差，提升曝光精度。
主权项：1.一种双面曝光系统的校正方法，所述双面曝光系统包括运动平台和曝光系统，所述曝光系统包括位于所述运动平台相对两侧的第一曝光系统和第二曝光系统，其特征在于：所述双面曝光系统还包括校正对位系统，所述校正对位系统包括至少两个对位相机，所述对位相机位于所述运动平台的相对两侧，获取所述第一曝光系统和第二曝光系统的世界坐标，并对运动平台上的基板进行对位，设定所述校正对位系统的任一对位相机为基准相机，确定以基准相机为基准的世界坐标系，所述基准相机抓取设置于运动平台的标尺上的标记点，获得所述标记点在世界坐标系中的坐标；其余对位相机分别运动至相应位置获取所述标记点的坐标信息，将其余对位相机运动至运动轴的位置转化为其余对位相机在该位置的世界坐标，将所述校正对位系统中除基准相机外的其余对位相机的坐标均统一至基准相机的世界坐标系；第一曝光系统和第二曝光系统分别曝光第一图形标记和第二图形标记至设置于运动平台上的标尺；通过所述校正对位系统的对位相机获取第一图形标记和第二图形标记的世界坐标，根据第一图形标记和第二图形标记的世界坐标结合运动平台的移动距离计算所述第一曝光系统和第二曝光系统中曝光镜头的世界坐标。
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权利要求：
百度查询： 源卓微纳科技(苏州)股份有限公司 一种双面曝光系统的校正方法和曝光方法
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