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申请/专利权人：新美光(苏州)半导体科技有限公司
摘要：本发明实施例涉及一种导流组件、晶棒生长设备以及晶棒的制备方法，其中，导流组件包括：导流筒，包括第一内侧壁和第一外侧壁；多个通孔，分布于导流筒的周向且分别贯穿第一内侧壁和第一外侧壁，通孔为气体在导流筒的内部和外部之间流动提供流通通道；挡板，位于导流筒内，能相对于导流筒移动，以改变挡板与通孔在通孔轴向的投影的重叠度，进而改变流通通道的流量。由此，可以调控熔液表面的压力，影响氧化气体从熔液中的蒸发量，改善晶棒的轴向氧浓度的分布情况。
主权项：1.一种导流组件，应用于晶棒生长设备，其特征在于，所述导流组件包括：导流筒，包括第一内侧壁和第一外侧壁；多个通孔，分布于所述导流筒的周向且分别贯穿所述第一内侧壁和所述第一外侧壁的，所述通孔为气体在所述导流筒的内部和外部之间流动提供流通通道；挡板，位于所述导流筒内，能相对于所述导流筒移动，以改变所述挡板与所述通孔在所述通孔轴向的投影的重叠度，进而改变所述流通通道的流量；其中，所述导流筒的底端与所述通孔之间的距离小于所述导流筒的顶端与所述通孔之间的距离，所述导流筒的底端为所述导流筒在工作过程中靠近晶棒生长设备中熔液液面的一端。
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权利要求：
百度查询： 新美光(苏州)半导体科技有限公司 导流组件、晶棒生长设备以及晶棒的制备方法
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