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申请/专利权人：上海先进半导体制造有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆吸臂。所述晶圆吸臂包括吸臂本体、吸附部及衬托；所述吸臂本体设有气道和连接孔；所述吸附部置于所述吸臂本体的一端，所述吸附部设有吸附孔，所述吸附孔通过所述连接孔与所述气道连通；所述衬托置于所述气道，且所述衬托的一端伸入至所述吸附孔内。本实用新型通过在吸附孔内设置衬托，使吸臂吸附晶圆背面而使晶圆发生形变时，衬托可支撑晶圆的背面，以向晶圆提供与吸力相反的支撑力，减小晶圆的形变，防止晶圆破片，降低晶圆的破片率。
主权项：1.一种晶圆吸臂，其特征在于，包括：吸臂本体，所述吸臂本体设有气道和连接孔；吸附部，置于所述吸臂本体的一端，所述吸附部设有吸附孔，所述吸附孔通过所述连接孔与所述气道连通；衬托，置于所述气道，且所述衬托的一端伸入至所述吸附孔内。
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百度查询： 上海先进半导体制造有限公司 晶圆吸臂
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