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申请/专利权人：荣芯半导体(淮安)有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗设备，包括：清洗槽，所述清洗槽内包括清洗液，用于清洗晶圆；抽风口档板，设置在所述清洗槽上方的抽风口处，以避免所述抽风口直接对着晶圆抽气；槽区挡板，围绕所述清洗槽的槽口设置，以避免所述清洗槽上方的气体串流。根据本发明提供的晶圆清洗设备，通过在清洗槽上方的抽风口处设置抽风口挡板，避免抽风口直接对着晶圆抽气，从而避免了晶圆快速风干表面形成局部氧化，通过围绕清洗槽的槽口设置槽区挡板，避免了不同类型的酸气在槽区之间横向串流，通过共同设置抽风口挡板和槽区挡板改变了晶圆清洗设备槽区内循环风场环境，提高了产品良率。
主权项：1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括：清洗槽，所述清洗槽内包括清洗液，用于清洗晶圆；抽风口档板，设置在所述清洗槽上方的抽风口处，以避免所述抽风口直接对着晶圆抽气；槽区挡板，围绕所述清洗槽的槽口设置，以避免所述清洗槽上方的气体串流；其中，所述抽风口挡板至少包括抽风口主挡板，所述抽风口主挡板与所述抽风口对应设置；所述槽区挡板包括一个或多个槽区侧部挡板，所述槽区侧部挡板的底端不高于所述清洗槽的上表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 荣芯半导体(淮安)有限公司 一种晶圆清洗设备
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