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申请/专利权人：荣耀电子材料(重庆)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种防止晶圆晃动的晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，包括晶圆盒主体和三个圆晶放置板，所述晶圆盒主体的内壁设置有竖向排列的三个顶部固定结构，三个所述圆晶放置板均活动连接在晶圆盒主体的内壁且分别设置在三个顶部固定结构的下方，所述圆晶放置板的横截面形状为折形，所述圆晶放置板的后侧设置有按压板，所述圆晶放置板的顶部开设有上下贯通的安装槽，所述安装槽的内壁固定连接有橡胶板，所述橡胶板的顶部开设有矩形阵列的若干个圆晶放置槽。本实用新型通过圆晶放置槽和方形槽的共同配合，使得圆晶的两侧均有部分悬空，通过外界的镊子插入方形槽并将圆晶的侧面夹住，从而便于将圆晶取出。
主权项：1.一种防止晶圆晃动的晶圆盒，包括晶圆盒主体1和三个圆晶放置板3，其特征在于：所述晶圆盒主体1的内壁设置有竖向排列的三个顶部固定结构2，三个所述圆晶放置板3均活动连接在晶圆盒主体1的内壁且分别设置在三个顶部固定结构2的下方，所述圆晶放置板3的横截面形状为折形，所述圆晶放置板3的后侧设置有按压板4，所述圆晶放置板3的顶部开设有上下贯通的安装槽，所述安装槽的内壁固定连接有橡胶板31，且所述橡胶板31的厚度与圆晶放置板3的厚度相等，所述橡胶板31的顶部开设有矩形阵列的若干个圆晶放置槽32。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 荣耀电子材料(重庆)有限公司 一种防止晶圆晃动的晶圆盒
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