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申请/专利权人：株式会社德山
摘要：本发明提供一种多晶硅破碎物，其能将多晶硅破碎物填充于树脂袋时、填充后的运输时以及从树脂袋取出时的树脂污染控制为利用现有方法无法实现的水平。本发明的多晶硅破碎物，由通过多晶硅棒的破碎产生的具有棱部的破碎片构成，上述破碎片中的具有70°以下的角度的棱部尖端的平均曲率半径r为50μm以上，该多晶硅破碎物通过以下方法得到，该方法包括：破碎工序，将多晶硅棒破碎而得到破碎片；以及蚀刻工序，将上述破碎工序中所得到的破碎片浸渍于蚀刻液中，以2.5μm分钟以下的蚀刻速度，以蚀刻深度为5μm以上的方式进行蚀刻。
主权项：1.一种多晶硅破碎物的制造方法，其特征在于，包括：破碎工序，将多晶硅棒破碎而得到破碎片；以及蚀刻工序，将所述破碎工序中所得到的破碎片浸渍于蚀刻液中，一边提供振动频率为3～10次分钟、振幅5～1000mm的摇动一边以2.5μm分钟以下的蚀刻速度，以蚀刻深度为8μm以上的方式进行蚀刻，所述多晶硅破碎物由通过多晶硅棒的破碎产生的具有棱部的破碎片构成，所述破碎片中的具有70°以下的角度的棱部尖端的平均曲率半径r为50μm以上，所述破碎片由不规则形状的多面体构成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社德山 多晶硅破碎物及其制造方法
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