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可动嵌入式微结构及微型扬声器 

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申请/专利权人:富迪科技(南京)有限公司

摘要:本发明公开一种可动嵌入式微结构及微型扬声器,其中该可动嵌入式微结构包括:基板、振膜、电路板、永久磁性元件以及多层线圈。前述基板具有中空腔室。前述振膜设置于前述基板上,且覆盖前述中空腔室。前述电路板接合至前述基板。前述永久磁性元件设置于前述电路板上,且设置于前述中空腔室中。前述多层线圈嵌入于前述振膜中。

主权项:1.一种可动嵌入式微结构,其特征在于,包括:基板,具有中空腔室;振膜,设置于该基板上且覆盖该中空腔室,其中该振膜是通过旋转涂布大分子材料形成;绝缘层,形成于该基板和该振膜之间;沟槽,形成在该振膜周围;电路板,接合至该基板,且该电路板具有多个气孔,且该多个气孔允许该中空腔室与外界环境连通;永久磁性元件,设置于该电路板上且设置于该中空腔室中;多层线圈,嵌入于该振膜中,其中该多层线圈包括第一层及第二层,且该第一层与该第二层部分重叠,其中该第一层具有螺旋结构,该第二层连接该第一层的内端部且横跨该螺旋结构;其中该第一层包括多个同轴段部,设置于该振膜的中心轴周围,且该多个同轴段部通过该第二层相互电连接,其中该第二层对称地设置于该振膜的该中心轴周围;以及介电层,形成于该第一层和该第二层之间;还包括籽晶层及软磁元件,其中该籽晶层设置于该绝缘层和该软磁元件之间,其中该软磁元件及该永久磁性元件位于不同的水平面上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 富迪科技(南京)有限公司 可动嵌入式微结构及微型扬声器

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