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一种硅片运输装置 

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申请/专利权人:天津洙诺科技有限公司

摘要:本实用新型提供了一种硅片运输装置,属于硅片运输技术领域。该硅片运输装置包括底座和夹持组件。所述底座表面安装有行走轮和推车扶手,且所述底座内设置有支撑座,所述夹持组件包括电机和双头螺杆,所述电机的输出轴与所述双头螺杆传动连接,所述双头螺杆的两个螺纹段表面螺纹套接有连接板,所述连接板表面连接有放置板,所述放置板表面开设有放置槽。本实用新型通过电机和双头螺杆的配合,使两个连接板沿着支撑座表面相对移动,且连接板会带动放置板移动,通过两个放置板的移动,降低运输装置不便固定不同尺寸的硅片的可能性,通过推车扶手和行走轮的配合,可使底座移动,利于将本装置移动至其它位置。

主权项:1.一种硅片运输装置,其特征在于,包括底座100,所述底座100表面安装有行走轮110和推车扶手120,且所述底座100内设置有支撑座130,所述支撑座130表面连接有两个挡板140;夹持组件200,所述夹持组件200包括电机210和双头螺杆220,所述电机210安装在所述支撑座130内,且所述电机210的输出轴与所述双头螺杆220传动连接,所述双头螺杆220转动安装在所述支撑座130内,且所述双头螺杆220的两个螺纹段表面螺纹套接有连接板230,所述连接板230与所述支撑座130表面贴合,且所述连接板230表面连接有放置板240,所述放置板240表面开设有放置槽250。

全文数据:

权利要求:

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