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半导体研磨设备用马达空转报警装置 

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申请/专利权人:无锡贝伦思科技有限公司

摘要:本实用新型公开了半导体研磨设备用马达空转报警装置,涉及马达技术领域;而本实用新型包括基座,基座的顶端固定安装有马达本体,马达本体的一端固定安装有警报器壳,警报器壳的内部活动安装有警报器本体;通过螺杆、顶板、L形板、第一弹簧、第一伸缩杆、拉把、M形板、滑槽、第二伸缩杆的配合,方便将警报器本体拆卸,需要安装警报器本体只需再将警报器本体卡入,然后松开拉把,再抽回顶板,将螺杆转动收回,紧接着通过第一弹簧、第二弹簧配合第一伸缩杆、第二伸缩杆带动L形板、M形板将警报器本体安装固定,从而实现了警报器本体的快捷装拆,更加方便快速,提升了后期装拆或更换和维护维修警报器本体的效率。

主权项:1.半导体研磨设备用马达空转报警装置,包括基座1,其特征在于:所述基座1的顶端固定安装有马达本体2,所述马达本体2的一端固定安装有警报器壳3,所述警报器壳3的内部活动安装有警报器本体4,所述警报器壳3的外侧铰链安装有密封门21,所述警报器壳3的内壁固定安装有对称分布的第一伸缩杆11,所述第一伸缩杆11的一端固定安装有L形板13,所述L形板13的内侧和警报器本体4贴合,所述第一伸缩杆11的外侧固定安装有第一弹簧12,所述第一弹簧12的一端和L形板13固定连接,所述警报器壳3的内壁上方固定安装有第二伸缩杆14,所述第二伸缩杆14的一端固定安装有M形板16。

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权利要求:

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