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申请/专利权人：奥加诺株式会社
摘要：制造降低了硼浓度的超纯水的超纯水制造系统具备与外部空气连通且贮存一次纯水的一次纯水罐20、以及与一次纯水罐20连接而制造超纯水的子系统30。在子系统30中制造出的超纯水中的未被使用的超纯水循环到一次纯水罐20。子系统30具备填充有硼选择性树脂的硼去除装置33、以及设置于硼去除装置33的下游的非再生型离子交换装置35。
主权项：1.一种超纯水制造系统，其特征在于，所述超纯水制造系统具备：一次纯水罐，其与外部空气连通，且贮存一次纯水；以及子系统，其与所述一次纯水罐连接而制造超纯水，在所述子系统中制造出的超纯水中的未被使用的超纯水循环到所述一次纯水罐，所述子系统具有填充有硼选择性树脂的硼去除装置、以及设置于硼去除装置的下游的非再生型离子交换装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奥加诺株式会社 超纯水制造系统以及超纯水的制造方法
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