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申请/专利权人：四川江化微电子材料有限公司
摘要：本发明公开了一种液晶面板用Cu‑MTD蚀刻液及其制备方法，属于铜蚀刻液技术领域，包括以下重量占比的组分：双氧水5‑18％、稳定剂0.01‑1％、有机酸1‑12％、有机碱1‑10％、缓蚀剂0.01‑2％，其余为超纯水。该铜蚀刻液具有兼容性强、蚀刻效率稳定、蚀刻效果好的优点，可有效解决现有技术中的问题。
主权项：1.一种液晶面板用Cu-MTD蚀刻液，其特征在于，包括以下重量占比的组分：双氧水5-18％、稳定剂0.01-1％、有机酸1-12％、有机碱1-10％、缓蚀剂0.01-2％，其余为超纯水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川江化微电子材料有限公司 一种液晶面板用Cu-MTD蚀刻液及其制备方法
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