龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种PAD表面粗糙度检测装置、修整器及抛光方法，属于晶圆抛光的技术领域，PAD表面粗糙度检测装置包括基座以及粗糙度传感器；所述基座内部中空；所述基座上开设有检测窗口；粗糙度传感器接在所述基座内部；所述粗糙度传感器的检测镜头通过所述检测窗口检测所述PAD表面的粗糙度。本发明提供的PAD表面粗糙度检测装置，通过基座将整体装置安装在指定位置，从而使PAD表面粗糙度传感器能够透过检测窗口实时检测PAD表面的粗糙度，以便能够实时并准确的判断PAD是否达到使用寿命，降低了判断误差。避免了PAD沟槽未充分磨光就判定废弃会造成的成本浪费和沟槽磨完还继续使用导致的严重影响晶圆抛光质量的问题。
主权项：1.PAD表面粗糙度检测装置，其特征在于，包括：基座1，内部中空；所述基座1上开设有检测窗口；及粗糙度传感器，连接在所述基座1内部；所述粗糙度传感器的检测镜头通过所述检测窗口检测PAD表面的粗糙度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 PAD表面粗糙度检测装置、修整器及抛光方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号