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申请/专利权人：山东大学
摘要：一种微波等离子体金刚石单晶马赛克拼接用的固定加热装置，包括固定装置和加热装置，固定装置设置在加热装置的上方；固定装置包括基片、定位环和固定杆，定位环设置在基片上，定位环上设置有测温孔，固定杆设置在定位环的内侧并置于基片上，每个固定杆与定位环之间均连接压缩弹簧；加热装置包括托盘、电阻丝和控温仪，电阻丝置于托盘中，控温仪的测温元件置于测温孔中。上述装置使衬底片之间接触更加紧密，且因为避免使用石墨胶粘连，使衬底片更好的接触基片，排除了异物干扰，保证了衬底片的高度统一，同时也避免了对单晶衬底片的污染，并辅以耦合互补的方式排列衬底片，消除了拼接缝出现边缘多晶的现象，明显改善了晶体质量。
主权项：1.一种微波等离子体金刚石单晶马赛克拼接用的固定加热装置，其特征是，包括固定装置和加热装置，固定装置设置在加热装置的上方；固定装置包括基片、定位环、压缩弹簧和固定杆，定位环设置在基片上，定位环上设置有测温孔，固定杆设置在定位环的内侧并置于基片上，每个固定杆与定位环之间均连接压缩弹簧；加热装置包括托盘、电阻丝和控温仪，电阻丝置于托盘中，基片置于托盘上，控温仪的测温元件置于测温孔中，根据控温仪的测温控制电阻丝的加热电流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种微波等离子体金刚石单晶马赛克拼接用的固定加热装置
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