买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：安徽碳索芯材科技有限公司

摘要：本发明公开了一种新型MPCVD生长金刚石自动产线装置，包括：晶种传送腔室、MPCVD生长炉体、真空传送腔室、切割抛光检测腔室、半成品成品传送腔室，所述MPCVD生长炉体与晶种传送腔室的侧壁相连接，所述MPCVD生长炉体包括微波电源、三销钉、波导、生长腔室、PLC控制面板，所述三销钉设置在波导的顶部，所述微波电源固定连接在波导靠近晶种传送腔室的一端。本发明集成了金刚石送样、生长、切割、抛光、清洗、缺陷检测为一体的自动产线装置，不仅能够进行连续送样和生长，而且能够高效、准确检测材料的缺陷和基础参数，确保材料在进入下一环节的良率，以及自动产线的运行稳定性。

主权项：1.一种新型MPCVD生长金刚石自动产线装置，包括：晶种传送腔室（18）、MPCVD生长炉体、真空传送腔室（17）、切割抛光检测腔室（19）、半成品成品传送腔室（20），其特征在于，所述MPCVD生长炉体与晶种传送腔室（18）的侧壁相连接，所述MPCVD生长炉体包括微波电源（1）、三销钉（2）、波导（3）、生长腔室（5）、PLC控制面板，所述三销钉（2）设置在波导（3）的顶部，所述微波电源（1）固定连接在波导（3）靠近晶种传送腔室（18）的一端，所述微波电源（1）位于晶种传送腔室（18）的上方，所述波导（3）远离微波电源（1）的侧壁设置有活塞（4），所述波导（3）安装在生长腔室（5）的顶部，所述生长腔室（5）与晶种传送腔室（18）相连接，所述生长腔室（5）包括基台（8）、可伸缩钼台（16），所述基台（8）安装在生长腔室（5）的内底壁，所述晶种传送腔室（18）、生长腔室（5）、半成品成品传送腔室（20）的内底壁均安装有真空传输通道（11），所述真空传输通道（11）位于基台（8）的一侧，所述可伸缩钼台（16）安装在生长腔室（5）的内壁，所述可伸缩钼台（16）位于真空传输通道（11）的上方，所述基台（8）的上方设置有等离子体（6），所述等离子体（6）位于可伸缩钼台（16）的一侧，所述真空传送腔室（17）与生长腔室（5）远离晶种传送腔室（18）的侧壁相连接，所述真空传送腔室（17）包括机械手（12），所述机械手（12）固定连接在真空传送腔室（17）的内底壁，所述切割抛光检测腔室（19）与真空传送腔室（17）远离生长腔室（5）的侧壁相连接，所述切割抛光检测腔室（19）包括激光源（14）、CT探头（15）、放置台，所述放置台安装在切割抛光检测腔室（19）的内底壁，所述激光源（14）安装在切割抛光检测腔室（19）的内顶壁，所述激光源（14）位于放置台的正上方，所述切割抛光检测腔室（19）安装有水泵（13），所述CT探头（15）安装在切割抛光检测腔室（19）的内壁，所述CT探头（15）位于放置台的斜上方，所述半成品成品传送腔室（20）与切割抛光检测腔室（19）远离真空传送腔室（17）的侧壁相连接，所述半成品成品传送腔室（20）内部的真空传输通道（11）一端与放置台相接触，所述基台（8）、真空传输通道（11）、放置台的顶部均放置有样品（7）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽碳索芯材科技有限公司 一种新型MPCVD生长金刚石自动产线装置