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申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆圆片化光电性监控方法、系统、计算机及存储介质，该方法包括：获取晶圆厚片在WAT抽测站点的抽测结果，并将抽测结果以抽测文档的形式传输至后台服务器；对厚片进行研磨切割处理，使厚片处理形成晶圆圆片；获取圆片在MAP全测站的光电数据，并将光电数据形成全测文档传输至后台服务器；采用MES分别计算比对抽测文档中厚片以及全测文档中圆片的光电性，以得到两者的光电性差异数据；根据光电性差异数据得出晶圆的良率并输出。本发明通过在后台端比对WAT抽测站和MAP全测站晶圆光电性差异的技术方案，可有效实现对于晶圆厚片机台的产出的精准监控。
主权项：1.一种晶圆圆片化光电性监控方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S1、获取晶圆厚片在WAT抽测站点的抽测结果，并将所述抽测结果以抽测文档的形式传输至后台服务器；步骤S2、对所述厚片进行研磨切割处理，使所述厚片处理形成晶圆圆片；步骤S3、获取所述圆片在MAP全测站的光电数据，并将所述光电数据形成全测文档传输至后台服务器；步骤S4、采用MES分别计算比对所述抽测文档中厚片以及所述全测文档中圆片的光电性，以得到两者的光电性差异数据；步骤S5、根据所述光电性差异数据得出所述晶圆良率并输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 晶圆圆片化光电性监控方法、系统、计算机及存储介质
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